2022-11-01
如下圖所示：要求測(cè)量黃色晶圓薄膜的厚度
通過(guò)了解客戶的需求知道測(cè)量薄膜精度要求μm級(jí)別，根據(jù)客戶要求及產(chǎn)品觀察技術(shù)人員選用，D15A32搭配H4UO三分之一量程控制器，D15A32具有超小的光斑尺寸，帶來(lái)更高的線性精度和更高的分辨率，適合測(cè)量對(duì)分辨率高的粗糙度。
通過(guò)掃描測(cè)量可以看出其薄膜厚度13.914μm
（重復(fù)精度）
深圳立儀科技自2014年成立，至今8年時(shí)間，專業(yè)生產(chǎn)研發(fā)光譜共焦位移傳感器，經(jīng)過(guò)8年不斷其產(chǎn)品重復(fù)精度可達(dá)10nm級(jí)別，最薄可測(cè)8μm，測(cè)量角度可達(dá)±60°。
