2019-12-24
一、光譜共焦原理
1.一束白光(或多波長(zhǎng)混合光)經(jīng)過(guò)一個(gè)小孔，經(jīng)過(guò)鏡頭將不同的波長(zhǎng)聚焦到光軸上，色散地形成一條彩虹狀分布帶，照射到樣品上，表面部分反射光反射回去。
2.沒(méi)有照射在光軸與物體表面交點(diǎn)的光經(jīng)過(guò)分光部件，照射在另一個(gè)小孔周圍被阻擋，無(wú)法照射到光譜分析儀，不會(huì)干擾測(cè)量。
3.照射在光軸與物體表面交點(diǎn)的光經(jīng)過(guò)分光部件，通過(guò)小孔照射到光譜分析儀。根據(jù)波長(zhǎng)計(jì)算就可以獲得鏡頭到被測(cè)物距離。
二、光譜共焦原理的優(yōu)點(diǎn)
1.分辨率：理論上波長(zhǎng)可以一直細(xì)分下去，理想鏡頭具有相當(dāng)高的分辨率。
2.溫度穩(wěn)定性好：鏡頭本身不發(fā)熱，溫度漂移小。對(duì)于微米以及亞微米測(cè)量，溫漂是關(guān)鍵。
3.自動(dòng)聚焦：在量程范圍內(nèi)，被測(cè)物的位置上下變動(dòng)時(shí)都有相應(yīng)的波長(zhǎng)的光聚焦到物體表面。
4.橫向分辨率高：從上到下總是在焦點(diǎn)上，測(cè)量光斑均微小，能分辨被測(cè)物上的微小輪廓變化。
5.模塊化小型化：鏡頭和控制器可以通過(guò)光纖連接，傳輸距離遠(yuǎn)，鏡頭可以做得很小，便于并排安裝。
6.調(diào)頻抗干擾：波長(zhǎng)是調(diào)頻信號(hào)，對(duì)光強(qiáng)變化等調(diào)幅干擾不敏感。光纖對(duì)電磁干擾、雷電浪涌不敏感。
7.透明材料厚度測(cè)量：當(dāng)被測(cè)物透明且有兩個(gè)表面，就會(huì)有兩個(gè)波長(zhǎng)的光返回得到厚度值。
8.全息性：理論上任意一束返回光譜分析儀的光線的波長(zhǎng)都攜帶了距離信息，部分光被遮擋影響小。
9.安全性高：壽命長(zhǎng)的LED光源，微小功率的白光，比激光對(duì)人眼安全，不受限于激光危害等級(jí)。
10.高防護(hù)：控制器高防護(hù)等級(jí)，光纖可提供不銹鋼外套版本，防止蟲(chóng)害鼠咬。
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