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2023-03-17

光譜共焦半導(dǎo)體領(lǐng)域測量——凸塊測高、測晶圓TTV、翹曲

在剛剛過去的2022年,半導(dǎo)體行業(yè)無疑是增長最快的行業(yè)之一。如今,半導(dǎo)體廣泛應(yīng)用于電動汽車、數(shù)據(jù)中心、智能手機和工廠自動化設(shè)備。作為全國測量設(shè)備和技術(shù)供應(yīng)商之一立儀科技來說,半導(dǎo)體行業(yè)也是立儀過去重點關(guān)注的領(lǐng)域,尤其是在接觸式或非接觸式產(chǎn)品的輪測和檢測方面,積累了豐富的經(jīng)驗。下面就跟隨立儀科技一起來看看吧





半導(dǎo)體在制造過程了使用光譜共焦位移傳感器測量設(shè)備進行檢測可以同時進行視覺,厚度的檢測,大大提升了產(chǎn)品的良品率,立儀旗下的點光譜共焦傳感器用于測量距離和外貌形狀厚度、TTV、翹曲、凸臺測量2.5D圖像的測量其精度最高可以達到0.1μm,并且型號多,測量角度大,能最大限度的滿足客戶的需求


 


立儀光譜共焦位移傳感器使用多個棱鏡色散部件,較其它色散原理光能利用率高2倍以上。線性度高2倍以上。雙層殼體雙重減震結(jié)構(gòu),光譜模塊殼體由整塊金屬鏤空而成,剛性和穩(wěn)定性好,大幅度減少了機臺工作時震動影響以及外界熱傳導(dǎo),機臺運輸時減少傳感器震動損壞或失準,電磁屏蔽性能好,散熱好。模塊化的LED光源。具有多通道版本節(jié)約控制器減少成本。