2022-04-28
光譜共焦傳感器，白光干涉儀，激光位移傳感器，膜厚儀是目前3D領(lǐng)域中，精度最高的測(cè)量?jī)x器之一，前面立儀科技小編已經(jīng)為大家介紹了光譜共焦位移傳感器，激光位移傳感器，接下來(lái)本文就帶大家一起來(lái)了解了解白光干涉儀
白光干涉儀工作原理：
白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀(guān)察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。
它具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?nèi)，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。
白光干涉儀的應(yīng)用領(lǐng)域：
一、超精細(xì)粗糙度測(cè)量
玻璃鏡片 0.05nm 粗糙度測(cè)量
二、臺(tái)階高度
掩模版臺(tái)階高度測(cè)量
三、形貌觀(guān)察&測(cè)量
膜形貌測(cè)量
四、不同條件下實(shí)驗(yàn)形貌比對(duì)&測(cè)量
化工材料不同濃度液滴后形貌分析
聽(tīng)完立儀科技小編的介紹，相信大家對(duì)白光干涉儀的原理以及應(yīng)用領(lǐng)域有了個(gè)大概的了解，立儀科技一家專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)光譜共焦位移傳感器，激光位移傳感器，膜厚儀，白光干涉儀的公司，從2014年成立至今，勵(lì)志成為國(guó)產(chǎn)高精度測(cè)量的技術(shù)引領(lǐng)者。
