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2021光譜共焦的干涉測(cè)量原理及厚度測(cè)量模式
光譜共焦位移傳感器是通過彩色激光光源發(fā)射出一束高密度寬光譜光,通過色散鏡頭后,在量程范圍內(nèi)行程不同波長的單色光,每個(gè)波長對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值,測(cè)量光射到物體表面反射回來,只有滿足共聚焦條件的光,可以通過小孔被光譜儀感測(cè)到。通過計(jì)算被感測(cè)到光的焦點(diǎn)的波長,換算獲的距離值。今天由深圳立儀科技公司介紹光譜共焦的干涉測(cè)量原理及厚度測(cè)量模式: 干涉測(cè)量法基于白光干涉圖(SAWLI)的光譜分析。是光譜共焦傳感器等光...