03-07
2024晶圓測量新利器：光譜共焦傳感器優(yōu)勢解析
光譜共焦位移傳感器和激光三角位移傳感器在表面測量領(lǐng)域均占據(jù)重要位置，它們各自在測量物體厚度方面表現(xiàn)出獨特的優(yōu)勢。盡管兩者具備測量功能，但根據(jù)應用環(huán)境和所需精度，它們的適應性呈現(xiàn)出顯著差異。 具體而言，光譜共焦位移傳感器利用共焦光學系統(tǒng)與光譜分析技術(shù)的結(jié)合進行測量，這種配置賦予了它極高的測量精確度。此外，其非接觸式的測量方式意味著不會對被測物體造成物理性損害，這一特性使其尤為適宜于透明或鏡面反射類材料...
